洁净室形式

1、非单向流洁净区
2、单向流洁净区（水平、垂直流向）
3、合流洁净区
4、环形/隔离装置
注：混合流洁净区是ISO标准提出的，即把实际早已存在的非单向流洁净室设置了局部的单向流的洁净工作台/层流罩对关键部位进行“点”或“线”的保护，以减少单向流洁净区的面积。