洁净室构造形式

2022-05-26 09:53

根据工艺特点进行布置,在满足使用前提下求得经济合理,可分为几下几类:
1、开放式:用于工艺过程对各区洁净度等级需求差别不大的情况下:
优点:灵活性好,便于调整、变更、设计简单、空气处理系统单一。
缺点:高运行费用,对于单向流型回风通道占空间大。
2、套件式:各洁净区按工艺的工序及洁净度等级要求分隔与连通,并进行各区间的压差控制。注:用于实验室类还是要求各自系统独立,不共享。
3、隧道式:是以“线”保护代替“面”保护的典型。
优点:节能,防火分隔简单,安全。
缺点:设计时需仔细,麻烦。施工难度高,灵活性差。
4、微环形+开放式洁净室
5、模块化洁净室:是近年来发展较快的。
FFU的发展对模块化洁净室灵活、方便性更加体现。一般适用于空调参数与所处背景环境基本一致的场合(不需要保温),可满足ISO标准4级及以上。