洁净室构造形式

根据工艺特点进行布置，在满足使用前提下求得经济合理，可分为几下几类：
1、开放式：用于工艺过程对各区洁净度等级需求差别不大的情况下：
优点：灵活性好，便于调整、变更、设计简单、空气处理系统单一。
缺点：高运行费用，对于单向流型回风通道占空间大。
2、套件式：各洁净区按工艺的工序及洁净度等级要求分隔与连通，并进行各区间的压差控制。注：用于实验室类还是要求各自系统独立，不共享。
3、隧道式：是以“线”保护代替“面”保护的典型。
优点：节能，防火分隔简单，安全。
缺点：设计时需仔细，麻烦。施工难度高，灵活性差。
4、微环形+开放式洁净室
5、模块化洁净室：是近年来发展较快的。
FFU的发展对模块化洁净室灵活、方便性更加体现。一般适用于空调参数与所处背景环境基本一致的场合（不需要保温），可满足ISO标准4级及以上。